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產品技術
半導體
集成電路
iTomic? HiK系列原子層沉積系統
iTronix?系列化學氣相沉積系統
iTomic? MW系列批量式原子層沉積系統
iTomic? PE系列等離子體增強原子層沉積系統
先進封裝
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MEMS
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其他
Trancendor?晶圓真空傳輸系統
光伏
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羲和?系列高溫低壓系統
退火
羲和?系列高溫低壓系統
隧穿氧化/多晶硅沉積
祝融系列ZR5000×2管式PECVD ToxPoly All-in-one 系統
祝融系列ZR5000×2管式PEALD/PECVD集成系統
祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系統
正膜Al?O?/SiN?
祝融系列ZR5000×2管式PEALD/PECVD集成系統
祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系統
正膜Al?O?
夸父?系列KF20000批量式ALD系統
背膜SiN?
祝融系列ZR5000×1管式PECVD系統
阻隔封裝
電子傳輸層 SnO?
界面層/封裝層 AIO?
產業化應用中心
產業化應用中心
iTomic? MW Lite批量輕型系列原子層沉積系統
iTomic? PE系列等離子體增強原子層沉積系統
朱雀系列粉末原子層沉積系統
后羿?系列 板式ALD系統
iSparol系列卷對卷ALD系統
半導體
我們是成功將量產型 High-??原子層沉積設備應用于集成電路制造前道生產線的國產設備公司,實現了國產ALD設備“從0到1”的突破。我們在邏輯芯片、存儲芯片、化合物半導體、新型顯示等諸多半導體細分領域實施多元布局,已獲得知名客戶重復批量訂單,躋身為能與國際巨頭“同臺競技”民族企業之一。
產品展示
iTomic? HiK系列原子層沉積系統
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iTronix?系列化學氣相沉積系統
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iTomic? MW系列批量式原子層沉積系統
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iTomic? Lite系列輕型原子層沉積系統
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iTomic? PE系列等離子體增強原子層沉積系統
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Trancendor?晶圓真空傳輸系統
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應用領域
集成電路
集成電路是指,在單一芯片上集成數百萬甚至數十億個電子元件,如晶體管和電容器,用于處理和存儲信息,是現代電子設備的核心。
泛半導體
泛半導體是一類半導體材料,如氮化鎵、碳化硅等,廣泛用于制造高頻電子元件、LED和高效電源,具有優越的電子特性。
硅基微顯示
硅基微顯示技術使用硅芯片制造微型顯示屏,如OLED,用于智能眼鏡、頭戴式設備和虛擬現實系統,提供高分辨率的視覺體驗。
MEMS
MEMS系統集成微型機械、電子和傳感器元件,用于加速計、氣壓計和慣性導航,實現精確的測量和控制。
先進封裝
先進封裝技術改進了半導體芯片的性能和連接性,例如3D封裝、TSMC CoWoS等,促進了更小、更快、更強大的電子設備的發展。
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