正膜Al?O?/SiN?
祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系統(tǒng)
祝融系列ZR5000×3管式 PEALD/PECVD集成鍍膜平臺延伸祝融系列概念，一體式設(shè)計實現(xiàn)氮化硅正膜、氧化鋁/背膜、氧化硅/多晶硅鈍化膜一站式完成，可實現(xiàn)單道產(chǎn)能翻倍，節(jié)省占地面積。ZR5000×3兼具先進的制造執(zhí)行管理系統(tǒng)（MES）和自動導(dǎo)引車（AGV）對接功能。在提供超高產(chǎn)能的同時，最大程度降低設(shè)備的運營成本，為后PERC高效電池技術(shù)提供理想可靠的量產(chǎn)解決方案，引領(lǐng)光伏產(chǎn)業(yè)化高效電池制造。
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